| Техника | Предел обнаружения | Лучшее для |
|---|---|---|
| FTIR-спектроскопия | 0.1 мкг/см2 | Органические остатки |
| HPLC | 1 ppm | Ионные загрязнители |
| ICP-MS | 0.01 ppb | Тяжелые металлы |
| Промышленность | Стандартный | Предел приемлемости |
|---|---|---|
| Медицинская помощь | ISO 19227 | ≤ 0,1 мг/см2 остатка |
| Полупроводники | SEMI C35 | ≤ 5 частиц (> 0,5 мкм) /см2 |
| Автомобильная промышленность | ВДА 19.1 | Никаких волокон > 200 мкм |
| Издание | Основная причина | Корректирующие действия |
|---|---|---|
| Несоответствующие результаты | Нестабильная частота | Калибрировать генератор ежегодно |
| Остатки моющих средств | Плохое ополаскивание | Добавить мониторинг проводимости |
| Частичное повреждение | Кавитационная эрозия | Уменьшить плотность мощности |
Заключение
Эффективная ультразвуковая очистка требует валидацииметодологические испытанияикорректировки на основе данныхИспользуя эти методы проверки, производители гарантируютповторная чистотапри соблюдении строгих отраслевых норм.